装置は真空テストを実行できませんでした。

考えられる原因:

• チャンバー内の漏れ
• ソレノイドバルブの漏れ (V1 / V2 / V3)
• 安全弁の故障
• 蒸気発生器または圧力センサーの問題
• 摩耗または汚れたチャンバードアガスケットによる適切なシールの妨げ。